SFJ-231D型半導體專用氦質譜檢漏儀

性能特點

• 德國原裝分子泵，干式真空泵，雙銥帶離子源

• 獨特的氣路設計，較低的顆粒物干擾

• 自保護功能，防止本底被污染

• 自動抽空壓力和時間設定，檢漏效率高

• 移動式推車，較低的移動噪音

• 帶故障提示和報警功能

• 可選無線遙控功能