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臺灣漢鐘螺桿真空泵

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PS系列干式螺桿真空泵

 


廣泛應用于面板、太陽能、冶金系統、鍍膜、電漿制程、干燥處理、制程氣體抽取、制程氣體抽取、生技/制藥、化工產業。
排氣路徑短,減少反應物沉積
線型密封性佳,泵浦性能優
結構簡單,故障率低,維修容易
微電腦操作,遠端監控,保護周全
500-1500m3/h(50Hz)
600-1800m3/h(60Hz)
1X10-3mbar
 
 


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