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廣泛應用于面板、太陽能、冶金系統、鍍膜、電漿制程、干燥處理、制程氣體抽取、制程氣體抽取、生技/制藥、化工產業。
排氣路徑短,減少反應物沉積
線型密封性佳,泵浦性能***優
結構簡單,故障率低,維修容易
微電腦操作,遠端監控,保護周全
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